电科装备实现离子注入机全谱系产品本土化

作者:电子信息产业网 日期:2021-09-27 10:12:40 人气: 栏目:通信与网络

3月17日,中国电科集团旗下电科装备公司成功实现离子注入机全谱系产品本土化,可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。
离子注入机是芯片制造中的关键装备。电科装备连续突破大流强长寿命高品质离子源、高速晶圆传输等“卡脖子”技术,自主研制中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机,工艺段覆盖至28nm,累计形成核心发明专利413项,实现我国芯片制造领域全谱系离子注入机自主创新发展,有效缓解我国芯片制造领域断链、短链难题。下一步,电科装备将瞄准高端,紧跟先进工艺发展,加快推进适用于更先进工艺节点离子注入机的研发及产业化。

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